GB/T 43965-2024 电子级正硅酸乙酯
Electronic grade ethyl orthosilicate
GB/T 43965-2024
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标准GB/T 43965-2024标准状态
- 发布于：2024-04-25
- 实施于：2024-11-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子级正硅酸乙酯》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了半导体行业用电子级正硅酸乙酯的技术要求、检验规则、型式试验、标志、包装、运输及贮存的要求,描述了试验方法、分析方法与测定结果评价。本文件适用于沉积二氧化硅的电子级正硅酸乙酯。
起草单位
金宏气体股份有限公司、武汉新硅科技潜江有限公司、南大光电半导体材料有限公司、浙江中宁硅业股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、浙江衢州硅宝化工有限公司、浙江开化合成材料有限公司、湖北新蓝天新材料股份有限公司、江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、内蒙古兴洋科技股份有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、湖北江瀚新材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、
起草人
孙猛、 金向华、 李楷东、 吴怡然、 陶刚义、 孙明璐、 向冲、 王成、 张园园、 郭树虎、 何珂、 李冲合、 张明英、 赵俊莎、肖俊平、曹可慰、赵斌、陈德义、冯琼华、黄天次、万烨、戈士勇、戈烨铭、甘俊、陈道伟、
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