GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference
GB/T 8758-2006
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标准GB/T 8758-2006标准状态
- 发布于：2006-07-18
- 实施于：2006-11-01
- 废止
内容简介
国家标准《砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）、全国有色金属标准化技术委员会联合归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准适用于砷化镓外延层厚度的测量，测量厚度大于2μm。要求衬底材料的电阴率小于0.02Ω?cm，外延层的电阴率大于0.1Ω?cm。
起草单位
北京有色金属研究总院、
起草人
王彤涵、
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