GB/T 42721-2023 电子特气 一氧化氮
Electronic specialty gas—Nitric oxide
GB/T 42721-2023
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标准GB/T 42721-2023标准状态
- 发布于：2023-08-06
- 实施于：2024-03-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子特气 一氧化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。
起草单位
大连科利德光电子材料有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、绿菱电子材料(天津）有限公司、三峡大学、湖北京瑞气体有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、昊华气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、湖北和远气体股份有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、中国计量科学研究院、宿州伊维特新材料有限公司、杭氧集团股份有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、浙江炬和科技有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、
起草人
施旖旎、 付梦月、 焦培培、 郭琼、 袁瑞玲、 邵治平、 金向华、 孙猛、 曹雪枫、 汤萍、 马彬淇、 杜大艳、 袁有录、 王小波、 边鲁宁、 阳辉、 吴靓、 方华、 高艳秋、 郝萍、 张金波、 杨金山、 杨康、 黄辉、 吴慧明、 兰锋、 王晶、 李倩、 宫兵、 王大为、 吴乾康、 梁永强、 马昌宁、 赵刚、 陈辉、刘颖、张天泽、李翔宇、傅铸红、陈艳珊、廖恒易、茹高艺、牛艳东、李长健、曹小林、方强、尹爱华、常侠、汪正宏、陈洁、王昭彬、于庆伟、王德发、张体强、秦远望、何波、韩一松、毛玲玲、尚柏羊、耿朝曦、董硕、顾大正、杨利、钱叶超、梁成科、高静、赖晓峰、周鹏云、
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