GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片
Polished monocrystalline silicon carbide wafers
GB/T 30656-2023
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标准GB/T 30656-2023标准状态
- 发布于：2023-03-17
- 实施于：2023-10-01
- 废止
内容简介
国家标准《碳化硅单晶抛光片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了4H及6H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于生产电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。
起草单位
北京天科合达半导体股份有限公司、南京国盛电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院物理研究所、安徽长飞先进半导体有限公司、
起草人
陈小龙、 彭同华、 刘春俊、 李素青、 郑红军、 杨建、 佘宗静、王波、郭钰、娄艳芳、骆红、钮应喜、
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