GB/T 12963-2022 电子级多晶硅
Electronic-grade polycrystalline silicon
GB/T 12963-2022
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标准GB/T 12963-2022标准状态
- 发布于：2022-12-30
- 实施于：2023-07-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子级多晶硅》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。
起草单位
江苏鑫华半导体科技股份有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体硅材料股份公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、四川永祥新能源有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、
起草人
田新、 将文武、 李素青、 秦榕、 贺东江、 陈卫群、 邱艳梅、 李斌、 付绪光、 董先君、 雷聪、 赵培芝、万首正、王彬、孙燕、宗冰、徐岩、刘晓霞、张遵、潘金平、张园园、
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