GB/T 12963-1996 硅多晶

Polycrystalline silicon

GB/T 12963-1996

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标准GB/T 12963-1996标准状态

发布于：1996-11-04
实施于：1997-04-01
废止

标准详情

标准名称：硅多晶
标准号：GB/T 12963-1996
发布日期：1996-11-04
实施日期：1997-04-01
中国标准号：H82
国际标准号：29.045
代替标准：代替GB 12963-1991被GB/T 12963-2009代替
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。

起草单位

峨眉半导体材料厂

起草人

王鸿高、尹建华、刘文魁、吴福立

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