GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry - Silane
GB/T 15909-2009
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标准GB/T 15909-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。。 u3000u3000本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
起草单位
浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院、
起草人
余京松、 周鹏云、
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