GB/T 12963-2009 硅多晶
Specification for polycrystalline silicon
GB/T 12963-2009
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标准GB/T 12963-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅多晶》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 u3000u3000本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
起草单位
峨眉半导体材料厂、
起草人
罗莉萍、 张辉坚、 王炎、
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