GB/T 14139-2009 硅外延片
Silicon epitaxial wafers
GB/T 14139-2009
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标准GB/T 14139-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
u3000u3000本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。 u3000u3000本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
起草单位
宁波立立电子股份有限公司、
起草人
许峰、 刘培东、 李慎重、谌攀、
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