标准详情
- 标准名称:扫描探针显微镜漂移速率测量方法
- 标准号:GB/T 29190-2012
- 发布日期:2012-12-31
- 实施日期:2013-06-01
- 中国标准号:A60
- 国际标准号:17.180.99
- 代替标准:
- 技术归口:全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门:中国科学院
- 标准分类:计量学和测量、物理现象光学和光学测量有关光学和光学测量的其他标准
国家标准《扫描探针显微镜漂移速率测量方法》由TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口,主管部门为中国科学院。
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院、
黄文浩、 陈宇航、 褚家如、 李家文、 李源、傅云霞、
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