GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
Specifications of physical vapour deposition TiN films
GB/T 18682-2002
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标准GB/T 18682-2002标准状态
- 发布于:2002-03-10
- 实施于:2002-08-01
- 废止
内容简介
国家标准《物理气相沉积TiN薄膜技术条件》由TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口,主管部门为中国机械工业联合会。
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAIN等)。
起草单位
武汉材料保护研究所、
起草人
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