GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮
Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
GB/T 21287-2021
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标准GB/T 21287-2021标准状态
- 发布于：2021-10-11
- 实施于：2022-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子特气 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。
起草单位
昊华气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、天津绿菱气体有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、浙江省化工研究院有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、
起草人
王娟、 付梦月、 傅铸红、 陈艳珊、 曹素英、 宋富财、 裴友宏、 韦杰广、 王新喜、 孙猛、 吕博文、 陈洁、 依俊廷、 何波、 宫兵、 王大为、 梁永强、 梁成科、 唐霞梅、 李光辉、 王少波、孟祥军、马建修、何经余、苏子杰、丁高松、史婉君、张建君、鬲春利、张琦炎、吴靓、方华、杨康、黄辉、易达文、李阳、高静、马昌宁、周鹏云、黄超、
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