GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Polycrystalline silicon - examination method - zone - melting on phosphorus under controlled atomosphere

GB/T 4059-2007

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标准GB/T 4059-2007标准状态

发布于：2007-09-11
实施于：2008-02-01
废止

标准详情

标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
标准号：GB/T 4059-2007
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
中国标准号：H17
国际标准号：77.040.01
代替标准：代替GB/T 4059-1983被GB/T 4059-2018代替
技术归口：中国有色金属工业协会
主管部门：中国有色金属工业协会
标准分类：冶金金属材料试验金属材料试验综合

内容简介

国家标准《硅多晶气氛区熔基磷检验方法》由610（中国有色金属工业协会）归口，主管部门为中国有色金属工业协会。
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。

起草单位

蛾眉半导体材料厂、

起草人

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