GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯
Gases for electronic industry--High purity chlorine
GB/T 18994-2003
国家标准 推荐性标准GB/T 18994-2003标准状态
- 发布于:2003-03-05
- 实施于:2003-08-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 高纯氯》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则1,11t乏包装、标志、运输及贮存和安全要求。 本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 分子式:Cl2。 相对分子质量:70.906(按1999年国际相对原子质量)。 101.3 kPa下的沸点:一34.O5℃。 101.3 kPa下的熔点:一l01.0。C。 101.3 kPa及20℃下气体的密度:2.980 k9/m3。
起草单位
光明化工研究设计院、
起草人
相近标准
GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
GB/T 33774-2017 电子工业用气体 丙烯
SJ/T 11517-2015 电子工业用气体 一氧化碳
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。