GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
GB/T 18867-2002
国家标准 推荐性
收藏
报错
标准GB/T 18867-2002标准状态
- 发布于:2002-10-15
- 实施于:2003-04-01
- 废止
内容简介
国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
起草单位
中核红华特种气体股份有限公司、
起草人
相近标准
20231011-T-469 电子气体 六氟化硫
GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫
20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器
DL/T 1986-2019 六氟化硫混合气体绝缘设备气体检测技术规范
GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 16945-2009 电子工业用气体 氩
GB/T 14604-2009 电子工业用气体 氧
GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦
GB/T 15909-2017 电子工业用气体 硅烷
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。