GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢
Gases for electronic industry--Hydrogen
GB/T 16942-1997
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标准GB/T 16942-1997标准状态
- 发布于：1997-08-13
- 实施于：1998-05-01
- 废止
内容简介
本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量）
起草单位
化学工业部西南化工研究院
起草人
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