GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦
Gases for electronic industry--Helium
GB/T 16943-1997
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标准GB/T 16943-1997标准状态
- 发布于：1997-08-13
- 实施于：1998-05-01
- 废止
内容简介
本标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。 分子式：He 相对分子质量：4.003（按1991年国际相对原子质量）
起草单位
化学工业部西南化工研究院
起草人
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