GB/T 16945-1997 电子工业用气体 氩
Gases for electronic industry--Argon
GB/T 16945-1997
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标准GB/T 16945-1997标准状态
- 发布于:1997-08-13
- 实施于:1998-05-01
- 废止
内容简介
本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。 本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压,它还可用于化学气相淀积、溅射,等离子及活性离子 刻蚀剂和退火等不同工艺中。 分子式:Ar 相对分子质量:39.948(按1991年国际相对原子质量)
起草单位
化学工业部西南化工研究院
起草人
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