标准详情
- 标准名称：玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
- 标准号：GB/T 33826-2017
- 发布日期：2017-05-31
- 实施日期：2017-12-01
- 中国标准号：Q34
- 国际标准号：71.040.99
- 代替标准：
- 技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会
- 主管部门：中国科学院
- 标准分类：化工技术分析化学有关分析化学的其他标准
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method
GB/T 33826-2017
国家标准 推荐性
收藏
报错
标准GB/T 33826-2017标准状态
- 发布于：2017-05-31
- 实施于：2017-12-01
- 废止
内容简介
国家标准《玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法》由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC1（全国纳米技术标准化技术委员会纳米材料分会）执行，主管部门为中国科学院。
本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10nm~1000nm范围内的纳米薄膜厚度测量，且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
起草单位
中国建筑材料科学研究总院、宣城晶瑞新材料有限公司、中国建材检验认证集团股份有限公司、广东中科华大工程技术检测有限公司、漳州旗滨玻璃有限公司、冶金工业信息标准研究院、中国建材检验认证集团（陕西）有限公司、哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所、
起草人
孟政、 刘静、 戴石锋、 汪洪、 张庆华、 代铮、 郎岩梅、 候英兰、徐勇、梁慧超、张继军、张卫星、赵晋武、
相近标准
20232871-T-604 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 轮廓仪法
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
GB/T 11378-2005 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 轮廓仪法
20202801-T-491 纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法
HG/T 2348-1992 磁带用聚酯薄膜表面粗糙度的测量触针法
GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 40066-2021 纳米技术 氧化石墨烯厚度测量 原子力显微镜法
GB/T 6672-2001 塑料薄膜和薄片厚度测定 机械测量法
GB/T 38518-2020 柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法
* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。