GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
Gas for electronic industry--Silane
GB/T 15909-1995
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标准GB/T 15909-1995标准状态
- 发布于:1995-12-20
- 实施于:1996-08-01
- 废止
内容简介
本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。 本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 分子式:SiH4 相对分子质量:32.117(按1991年国际相对原子质量)。 101.3kPa下的沸点:-112℃ 20℃和101.3kPa下气体密度:1.342kg/m。 -185℃下液体密度:711kg/m。
起草单位
化工部西南化工研究院
起草人
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