GB/T 15615-1995 硅片抗弯强度测试方法
Test method for measuring flexture strength of silicon slices
GB/T 15615-1995
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标准GB/T 15615-1995标准状态
- 发布于：1995-07-12
- 实施于：1996-02-01
- 废止
内容简介
本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片（简称硅片）的抗弯强度测试方法。 本标准适用于晶向为和的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。
起草单位
中南工业大学
起草人
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