GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
Gas for electronic industry.Phosphine
GB/T 14851-1993
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标准GB/T 14851-1993标准状态
- 发布于:1993-12-30
- 实施于:1994-10-01
- 废止
内容简介
本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。磷化氢是一种剧毒、可燃、具有腐鱼味的无色气体,在空气中高浓度时能自燃。 分子式:PH3 相对分子质量:33.9975(按1989年国际原子量)
起草单位
化工部光明化工研究所
起草人
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