GB/T 14601-1993 电子工业用气体高纯氨

Gases for electronic industry. High purity ammonia

GB/T 14601-1993

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标准GB/T 14601-1993标准状态

发布于：1993-08-26
实施于：1994-07-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体高纯氨
标准号：GB/T 14601-1993
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
中国标准号：G86
国际标准号：71.100.20
代替标准：被GB/T 14601-2009代替
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。分子式：NH3 相对分子质量：17.031（按1989年国际相对原子质量）

起草单位

化工部西南化工研究院

起草人

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GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨