GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼
Gases for electronic industry. Boron trifluoride
GB/T 14603-1993
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标准GB/T 14603-1993标准状态
- 发布于:1993-08-26
- 实施于:1994-07-01
- 废止
内容简介
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料,采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式:BF3 相对分子质量:67.805(按1989年国际相对原子质量)
起草单位
化工部西南化工研究院
起草人
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