标准详情
- 标准名称：硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
- 标准号：DB35/T 1146-2011
- 发布日期：2011-04-10
- 实施日期：2011-07-10
- 中国标准号：H80
- 国际标准号：29.045
- 代替标准：
- 所属地区：福建省
- 技术归口：中国科学院福建物质结构研究所
- 主管部门：福建省质量技术监督局
- 标准分类：电气工程科学研究和技术服务业福建省半导体材料
DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法
DB35/T 1146-2011
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标准DB35/T 1146-2011标准状态
- 发布于：2011-04-10
- 实施于：2011-07-10
- 废止
内容简介
地方标准《硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法》由中国科学院福建物质结构研究所归口上报，主管部门为福建省质量技术监督局。本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（GDMS)所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素Li、Be、B、Na、Mg、A1、P、K、Th、U等元素的测定
起草单位
中国科学院福建物质结构研究所、
起草人
黄丰、吕佩文、林璋、黄瑾、陈伦泰、王永好、
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